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                    1200℃預加熱滑動雙溫區PECVD系統

                    更新時間: 2024-03-21

                    訪問次數: 20623

                    產品報價:

                    產品簡介: PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

                    詳細資料:

                    產品應用:

                    PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

                    產品組成:

                    PECVD系統配置:

                    1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐

                    2.滑動系統分為手動、電動滑動,并配置管內測溫系統。

                    3.預加熱開啟式管式電爐

                    4.等離子射頻電源

                    5.多路質量流量控制系統

                    6.真空系統(可選配中真空或高真空)  

                    產品特點:

                    生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

                    天津中環電爐股份有限公司  地址:天津市北辰區北辰科技園區雙川道11號

                     

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